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载置台、检查装置和温度校正方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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载置台、检查装置和温度校正方法.pdf

    本发明提供载置台、检查装置和温度校正方法。载置台是载置被检查基片的载置台，具有多个温度传感器和电极焊盘。多个温度传感器分别测量载置台的多个部位的温度。电极焊盘与温度传感器分别连接，并设置于载置面。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874693 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038993.5 (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限

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