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2023-07-08 发布于四川
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一种MEMS传感器校准装置.pdf

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本发明公开了一种MEMS传感器校准装置，包括校准室，校准室的内部底端固定连接有校准台，校准台的底端中部固定连接有压力传感器，校准室的内部上方一侧设置有冷暖风机，校准室的内部顶端中部设置有测温计，测温计的两侧均设置有固定块，固定块的上端均固定连接于校准室的内部顶端，本发明所达到的有益效果包括：可以对比不同温度下的压力数据，计算出温度改变时压力数据的改变量，可以进行校正，校正精准，本发明设置有开关机构，当校准室内的温度过高时，高温会使得开关机构的气球膨胀挤压推杆，带动按块按动开关，使得与开关电性连接

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113865635 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202111096021.4 (22)申请日 2021.09.18 (71)申请人温州大学地址 32

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