原创力文档- 6
- 0
- 约7.28千字
- 约 9页
- 2023-07-08 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种用聚焦离子束加工辐照块体的透射样品制备方法，包括以下步骤：1)获取金属薄片；2)对金属薄片进行辐照实验；3)将金属薄片沿直径方向切割成半圆状，将半圆状样品夹持于夹具上，然后将夹具粘接于样品台上；4)通过离子束去除切割过程中产生的变形区域；5)调整样品台的方向，使得离子束方向平行于夹具的侧面，选择距离辐照表面不同深度D进行加工，分别在倾转角度为5.5°及8.5°进行两侧减薄，得透射电镜样品，该方法能够制备得到距离辐照表面不同深度的区域的透射样品，且具有制作成本低、效率高的特点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116399656 A
(43)申请公布日 2023.07.07
(21)申请号 202310147524.2
(22)申请日 2023.02.21
(71)申请人 西安交通大学
地址 710049
文档评论（0）