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一种等离子体设备。所述等离子体设备包括基座、电极以及多层金属网。所述基座经配置以承载待加工工件。所述电极设置于所述基座的上方。所述电极经配置以接收射频功率。所述多层金属网设置于所述基座与所述电极之间。所述多层金属网之间具有电位差。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116403879 A
(43)申请公布日 2023.07.07
(21)申请号 202111615718.8
(22)申请日 2021.12.27
(71)申请人 拓荆科技股份有限公司
地址 11
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