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本发明公开了一种改善高温去胶工艺中光刻胶皱缩的方法,包括以下步骤:S1:晶圆在放入高温200‑300度的腔室前,首先在预热盘上缓慢升温100度至200度加热,这一步处于大气环境,起始温度100度低于PR的烘烤温度,之后逐渐升温直到200度;S2:打开腔室门,且顶针顶起,将晶圆传至腔室内,保持腔室打开和顶针顶起的状态30秒;30秒后顶针落下晶圆接触加热载盘,并开始进行去胶工艺;S3:去胶工艺结束后,顶针顶起晶圆,并打开腔室手臂伸入且保持30秒。本发明与现有技术相比的优点是:本发明提出了优化晶圆传送
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113867110 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202111112552.8
(22)申请日 2021.09.23
(71)申请人 上海稷以科技有限公司
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