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本发明提供了一种IPM封装结构及其制作方法,IPM封装结构包括:控制芯片、第一塑封层、再布线层、IGBT芯片、引脚以及第二塑封层;控制芯片包括若干第一焊盘,第一焊盘位于控制芯片的活性面;第一塑封层至少包覆控制芯片的侧表面,第一塑封层的正面暴露控制芯片的活性面;再布线层位于控制芯片的活性面与塑封层的正面上,再布线层至少用于对各个第一焊盘进行电路布局;IGBT芯片与引脚的内引脚部位于再布线层上,IGBT芯片与内引脚部都与再布线层电连接;第二塑封层包覆IGBT芯片、再布线层以及内引脚部,引脚的外引脚部
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113871307 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202111124246.6
(22)申请日 2021.09.24
(71)申请人 矽磐微电子(重庆)有限公司
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