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- 2023-07-11 发布于四川
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一种清洗及蚀刻装置，包括可承载吊篮架的旋转单元，该旋转单元具有驱动机构；该吊篮架的底部可旋转地设置至少一支转轴，并且吊篮架设有连接至该至少一支转轴的被驱动机构；吊篮架内可置入至少一个晶舟，并且使放置在晶舟内的晶圆片下边缘接触该至少一支转轴；当吊篮架安置于旋转单元的承载座后，该被驱动机构与驱动机构产生连接，通过该驱动机构与被驱动机构带动该至少一支转轴旋转，使晶圆片被转轴带动旋转及上下晃动，以提升清洗或蚀刻均匀度及效能，并且缩短制程时间。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212412013 U
(45)授权公告日 2021.01.26
(21)申请号 202021574378.X
(22)申请日 2020.08.03
(73)专利权人 禾邑实业股份有限公司
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