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一种晶圆高速扫描装置.pdfVIP

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  • 2023-07-12 发布于四川
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一种晶圆高速扫描装置.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆高速扫描装置，包括晶圆载具和扫描机构，所述晶圆载具包括前后两面开口的晶圆料盒，所述扫描机构包括光源组件和镜头组件，所述光源组件和镜头组件分别架设在晶圆料盒两端开口外，所述镜头组件包括扫描相机和配合扫描相机的高速升降装置，所述光源组件包括背景光源，本实用新型的优点在于配合高速升降装置的扫描相机可以快速适配合适的扫描位置，配合可以大面积均匀照明的背景光源，可以实现大装载量状态下的晶圆高速扫描，从而实现对晶圆分布状态及厚度的快速检测响应。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219328421 U (45)授权公告日 2023.07.11 (21)申请号 202222968044.6 (22)申请日 2022.11.08 (73)专利权人 精芯智能装备 （苏州）有限公司

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