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本申请公开了一种研磨机构,包括:压力气缸,升降设置;旋转支架,连接所述压力气缸,所述旋转支架上设置有轴承组件、旋转电机、旋转轴、旋转接头,所述旋转接头连通真空气源,所述旋转轴依次卡接穿过所述轴承组件、所述旋转电机后与所述旋转接头连接,所述旋转轴开设有与所述旋转接头密封连通的轴腔;吸附组件,顶部连接所述旋转轴且设有与所述轴腔连通的吸附孔,底部吸附有可拆卸的研磨片。本研磨机构能够使研磨片在制作过程中平行公差好保证,研磨机构与研磨平台的平行度不易改变,研磨稳定性强,产品良率也有保证,制作过程简单。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214162582 U
(45)授权公告日 2021.09.10
(21)申请号 202022845491.3 B24B 41/047 (2006.01)
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