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一种喷淋架以及蚀刻系统.pdfVIP

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  • 2023-07-13 发布于四川
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一种喷淋架以及蚀刻系统.pdf

    本实用新型属于蚀刻技术设备领域，尤其涉及一种喷淋架以及蚀刻系统。喷淋架包括框体结构、管道结构和连接结构。框体结构包括多个侧板，各侧板首尾相连并合围成安置框，安置框的内壁开设有两定位槽，两定位槽分别位于两正对设置的两侧板。管道结构包括喷淋管，喷淋管开设有喷淋流道、供液体流入喷淋流道的进液口以及供液体流出喷淋流道的出液口，喷淋管的两端分别滑动设置于两定位槽。连接结构包括连接螺栓，连接螺栓设置有两个，且两连接螺栓分别将喷淋管的两端可拆卸地连接两侧板。本实用新型可以实现喷淋管与两定位槽的脱离，进而可以对

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214177659 U (45)授权公告日 2021.09.10 (21)申请号 202023329184.6 (22)申请日 2020.12.30 (73)专利权人 深圳市轩宇飞龙机械设备有限公

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