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一种晶圆的检测装置.pdfVIP

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  • 2023-07-13 发布于四川
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一种晶圆的检测装置.pdf

    本实用新型涉及了晶圆生产加工领域，具体的是一种晶圆的检测装置，其中墨滴调整单元包括基盘、喷墨回收结构和喷墨单元切换机构，基盘用于承载喷墨单元喷射的墨滴，喷墨回收结构用于对基盘上的墨滴进行回收，喷墨单元切换机构用于切换不同的喷墨单元，以对晶圆进行连续性检测，避免了现有技术需要将基盘单独取下来进行清洗的缺陷，减少操作步骤，提高运行效率。本实用新型的有益效果在于：能够在喷墨单元喷墨异常时及时对喷墨单元进行切换，对喷墨单元进行调整时无需停止对晶圆的检测，提高晶圆检测和标记的连续性和可靠性；另外，喷墨回收

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214203614 U (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202022081598.5 (22)申请日 2020.09.22 (73)专利权人 苏州思达优科技有限公司

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