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本申请公开了一种腔盖、腔体以及等离子体化学气相沉积设备，属于微波电磁聚焦技术领域，腔盖包括主体和覆盖片，主体包括至少两个同轴的腔体，这些腔体的直径沿他们的轴线方向依次增大；在主体的外壁上设置有供冷却水流动的第一凹槽，覆盖片与主体可拆卸连接。本实用新型公开的上腔体利用阶梯状的腔体进行配合，能够高效增强微波功率的耦合，极大地提高了谐振腔内微波电场的聚焦能力；供冷却水经过的第一凹槽直接设置在主体上，冷却水与腔体之间的间隔距离小，冷却效果较佳，且覆盖片与主体之间为可拆卸配合，可以随时对第一凹槽进行清理，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214168124 U
(45)授权公告日 2021.09.10
(21)申请号 202023349053.4
(22)申请日 2020.12.31
(73)专利权人 成都纽曼和瑞微波技术有限公司
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