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一种氮氧化硅PERC电池背钝化结构及包括其的PERC电池.pdfVIP

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  • 2023-07-13 发布于四川
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一种氮氧化硅PERC电池背钝化结构及包括其的PERC电池.pdf

    本实用新型提供了一种氮氧化硅PERC电池背钝化结构及包括其的PERC电池，所述的氮氧化硅PERC电池背钝化结构包括由PERC电池的背面依次层叠设置的晶硅衬底、氮氧化硅层和氮化硅层。所述的PERC电池包括P型硅基体，所述的P型硅基体的背面设置有所述的氮氧化硅PERC电池背钝化结构。本实用新型采用氮氧化硅层取代了传统的PERC电池背钝化结构中的氧化铝层，氮氧化硅薄膜内也含有大量氢原子，具备优良的钝化作用，同时氮氧化硅薄膜具有减反性能，从而降低了耗材成本，提高了工艺安全稳定性，同时也保证了较高的产线效

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214176046 U (45)授权公告日 2021.09.10 (21)申请号 202120418223.5 (22)申请日 2021.02.25 (73)专利权人 横店集团东磁股份有限公司

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