一种石英硅片清洗槽机构.pdfVIP

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2023-07-13 发布于四川
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一种石英硅片清洗槽机构.pdf

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本实用新型涉及一种石英硅片清洗槽机构，包括清洗槽、丝杆螺母、硅片放置框和电机；所述清洗槽内壁上设有进液槽，所述进液槽上设有进液孔，所述丝杆螺母设于清洗槽的四个直角处，所述硅片放置框两侧通过连接柱与与丝杆螺母上的升降板连接，所述电机固定于升降板朝向进液槽的一侧，且电机的转轴贯穿升降板与连接柱连接，所述硅片放置框的内壁设有放置槽，硅片放置框底部设有通槽。本实用新型可降低清洗成本，实现清洗槽内的清洗剂随时可循环流动，有利于保持清洗剂的浓度，保证清洗效果，从而提高后续使用质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214160712 U (45)授权公告日 2021.09.10 (21)申请号 202023311797.7 (22)申请日 2020.12.31 (73)专利权人昆山佳鹿石英有限公司