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柔性气动压力测量装置.pdfVIP

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  • 2023-07-13 发布于四川
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柔性气动压力测量装置.pdf

    本实用新型公开了柔性气动压力测量装置，包括制作有电路的柔性电路板以及贴附在所述柔性电路板上的MEMS气压传感器和芯片，所述芯片被硅胶保护层包覆；所述芯片中包括柔性芯片，所述柔性芯片的厚度不大于50μm。本实用新型能够与飞行器表面共形，降低测量系统对气体流场的干扰。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214173624 U (45)授权公告日 2021.09.10 (21)申请号 202120055182.8 (22)申请日 2021.01.07 (73)专利权人 浙江荷清柔性电子技术有限公司

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