一种晶圆片检测上载台及与该上载台相配合的上载装置.pdfVIP

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2023-07-13 发布于四川
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一种晶圆片检测上载台及与该上载台相配合的上载装置.pdf

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本实用新型提供一种晶圆片检测上载台，具有：放置台；用于固定的固定组件；用于定位的定位组件；以及用于接触感压信号的压感组件；其中，所述固定组件、所述定位组件和所述压感组件均贯穿所述放置台厚度并同向朝所述放置台一侧面设置；所述定位组件和所述压感组件都内置于连接所述固定组件所围成的区域；且所述定位组件和所述压感组件可受压沿所述放置台的厚度伸缩。本实用新型还提供一个与该上载台相配合的上载装置。本实用新型上载台，适用于半导体晶圆片的检测，可使载有晶圆片的上载装置快速、稳固地水平放置，并可迅速精准地定位上载

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214174552 U (45)授权公告日 2021.09.10 (21)申请号 202120023039.0 (51)Int.Cl.