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一种化合物半导体生长容器的支撑设备.pdfVIP

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  • 2023-07-14 发布于四川
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一种化合物半导体生长容器的支撑设备.pdf

    本实用新型涉及单晶生长技术领域，公开了一种化合物半导体生长容器的支撑设备，包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部与第二支撑部相对设置且相触离，第一支撑部包括第一保护层、第一外壳，第二支撑部包括第二保护层、第二外壳，第一保护层和第二保护层中均开设有弧形槽，弧形槽中均开设有半圆柱槽，第一保护层与第二保护层相接触时形成的中空形状与生长容器的形状相匹配，第一外壳与第一保护层固定连接，第二外壳与第二保护层固定连接，第一外壳和第二外壳两侧均固定连接有磁铁块，四块磁铁块的中心位置均固定连接支撑杆。本实用新

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214193526 U (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202022451041.6 (22)申请日 2020.10.29 (73)专利权人 威科赛乐微电子股份有限公司

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