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- 2023-07-14 发布于四川
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本实用新型涉及晶体生长装备技术领域，公开了一种晶体生长坩埚托，包括石英管，所述石英管一侧的内部设置有石英棉，所述石英管另一侧的内部设置有保温棉，所述石英棉内设置有敞口的倒锥形槽，所述保温棉内设置有通槽，所述通槽与倒锥形槽连通，所述通槽内设置有石英棒，所述石英棒的一端伸出保温棉，所述石英棒另一端的端部至锥形槽之间的通槽形成籽晶腔。本实用新型能够提高晶体轴心位置的热传导效率，改善生长界面凹向熔体的程度或变成微凸向熔体的生长界面。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214193528 U
(45)授权公告日 2021.09.14
(21)申请号 202022597711.5
(22)申请日 2020.11.11
(73)专利权人 威科赛乐微电子股份有限公司
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