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一种单晶生长炉炉芯组的快速装填工具.pdfVIP

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  • 2023-07-14 发布于四川
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一种单晶生长炉炉芯组的快速装填工具.pdf

    本实用新型涉及单晶炉装配装置技术领域，公开了一种单晶生长炉炉芯组的快速装填工具，包括圆形台阶底座、提拉杆和卡扣结构，圆形台阶底座上设有内螺纹通孔，所述提拉杆下端固定连接有外螺纹丝杆，圆形台阶底座上的内螺纹通孔与提拉杆下端的外螺纹丝杆的尺寸相配合，提拉杆从外螺纹丝杆一端依次套设有环形炉芯组固定片、弹簧、环形弹簧固定片和卡扣结构。本实用新型能够通过采用圆形台阶底座和固定连接有外螺纹丝杆的提拉杆相配合对定炉芯组初步定位，通过卡扣结构和环形炉芯组固定片、弹簧、环形弹簧固定片之间的配合压紧炉芯组，最后通过

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214193508 U (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202022357231.1 (22)申请日 2020.10.21 (73)专利权人 威科赛乐微电子股份有限公司

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