一种芯片生产制造用冷却装置.pdfVIP

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2023-07-14 发布于四川
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一种芯片生产制造用冷却装置.pdf

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本实用新型公开了一种芯片生产制造用冷却装置，涉及芯片制造技术领域，包括底座，底座的上表面对称固定安装有支撑柱，多个支撑柱的上表面固定安装有工作台面，工作台面的一侧下表面固定安装有水泵，工作台面的一侧内壁固定安装有连接杆，工作台面的上表面中部固定安装有支撑板。该芯片生产制造用冷却装置，通过在工作台面的下表面设置活动槽，导水管通过储水箱和输水管的配合，实现将冷水在内部进行循环，并通过制冷机的配合，实现对水的冷却处理，当制冷风机启动后，能够使冷气与输送带接触，从而传递给芯片进行冷却，能够有效防止芯片与

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214201528 U (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202022540962.X (22)申请日 2020.11.06 (73)专利权人曲来世地址 27