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本实用新型公开了一种硅片的扩散的石英舟，包括防尘盒和导向杆，所述防尘盒顶部开设有滑槽，所述滑槽内部嵌合有滑块；所述防尘盒与滑块之间连接有螺栓，所述滑块一侧连接有盒盖，所述防尘盒内部放置有第一石英架，所述第一石英架一侧连接有第一固定杆，所述第一固定杆内部开设有连接槽。该硅片的扩散的石英舟设置有拉动盒盖将滑块插入滑槽内部，推动滑块沿滑槽进行移动，当滑块移动时会带动盒盖进行移动，盒盖移动到适应位置后拉动螺栓沿防尘盒进行螺纹滑动，螺栓螺纹滑动到滑块一端后可以将滑块与防尘盒进行固定，从而将盒盖与防尘盒进行
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214193524 U
(45)授权公告日 2021.09.14
(21)申请号 202022657435.7
(22)申请日 2020.11.17
(73)专利权人 浙江浩锐石英科技有限公司
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