T_CASAS 026-2023 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法.docxVIP

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2023-07-16 发布于河北
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ICS?29.045 CCS?H?80/84 团体标准 T/CASAS?026—2023 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法 method??for??minority??carrier method??for??minority??carrier??lifetime??in??silicon microwave?photoconductive?decay 版本：V01.00 2023-06-19?发布 2023-06-19?实施第三代半导体产业技术创新战略联盟发布 T/CASAS?026—2023 目次前言 ....................................................................................................................................................................? III 引言 ....................................................................................................................................................................? IV 1? 范围 ..................................................................................................................................................................? 1 2? 规范性引用文件 ..............................................................................................................................................? 1 3? 术语和定义 ......................................................................................................................................................? 1 4? 方法原理 ..........................................................................................................................................................? 1 5? 干扰因素 ..........................................................................................................................................................? 3 6? 仪器设备 ..........................................................................................................................................................? 3 7? 试样 ..................................................................................................................................................................? 4 8? 测试环境 ..........................................................................................................................................................? 4