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本实用新型公开了一种金刚线切片装置的用水系统,金刚线切片装置的用水系统包括配液单元、切割液存储单元、溢流调节器以及废液收集单元,配液单元用于配置药液;切割液存储单元与配液单元连通,切割液存储单元内的液体用于对金刚线切片装置供给药液,切割液存储单元适于收集金刚线切片装置切割过程中的冷却水;溢流调节器与切割液存储单元连通,且构造出连通器结构,以防止切割液存储单元内的药液流出。根据本实用新型的金刚线切片装置的用水系统,可以对金刚线切片装置切割硅片进行有效清洗,且通过溢流调节器的设置,可防止切割液存储单
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214187895 U
(45)授权公告日 2021.09.14
(21)申请号 202022558114.1 B28D 7/00 (2006.01)
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