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公开了在边界区具有低/零机电耦合的声波谐振器。本公开涉及一种体声波(BAW)谐振器，其包括底部电极、顶部电极结构以及夹在底部电极与顶部电极结构之间的铁电层。在本文中，铁电层由具有盒形极化‑电场(P‑E)曲线的铁电材料形成。铁电层包括位于铁电层的外围的铁电边界(BO)部分以及由铁电BO部分包围的铁电中心部分。铁电BO部分具有第一极化和第一机电耦合系数，并且铁电中心部分具有第二极化和第二机电耦合系数。第一极化的绝对值小于第二极化的绝对值，并且第一机电耦合系数小于第二机电耦合系数。铁电中心部分被配置为
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116436430 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310032961.X (51)Int.Cl.
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