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本发明提供一种基于渗透法精确控制小腔体气体压强集成装置及测试方法，属于密封小腔体气体压强精确控制技术领域。该装置包括气体测控与气路集成模块、气体渗透模块、座装电磁阀组模块、试管及试管安装模块。气体渗透模块安装在气体测控与气路集成模块前侧，座装电磁阀组模块安装在气体测控与气路集成模块后侧，试管及试管安装模块安装在气体测控与气路集成模块下侧。该装置通过气体渗透模块减小气体进入与抽出密封小腔体的速率，通过座装电磁阀组模块控制进入与抽出密封小腔体气体的通断，从而实现对气体测控与气路集成模块内密封小腔体压
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116430916 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310674984.0
(22)申请日 2023.06.08
(71)申请人 北京科技大学
地址 100083
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