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铁电器件、半导体装置.pdfVIP

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  • 2023-07-15 发布于四川
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铁电器件、半导体装置.pdf

    提供一种包括具有良好的铁电性的金属氮化物膜(130)的铁电器件(100)。铁电器件包括第一导电体(110)、第一导电体上的金属氮化物膜、金属氮化物膜上的第二导电体(120)、第二导电体上的第一绝缘体(155)以及第一绝缘体上的第二绝缘体(152)。第一绝缘体具有接触于金属氮化物膜的侧面、第二导电体的侧面及顶面的每一个的区域，金属氮化物膜具有铁电性，金属氮化物膜包含第一元素、第二元素及氮，第一元素为选自第13族元素中的一个以上的元素，第二元素为选自除第一元素之外的第13族元素和第2族元素至第6族元

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116438634 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202180071444.2 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公

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