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本申请涉及一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，包括：放电腔腔体，该放电腔腔体为封闭的空心腔体结构，放电腔腔体的开设有进气口和出气口；扰流板模块，该扰流板模块与放电腔腔体连接，并设有与进气口连通的出光通道；净化气路，其包括位于扰流板模块两侧且相对设置的第一气路和第二气路，第一气路和第二气路的气体在出光通道内相互对冲并回流至放电腔腔体内。本申请的扰流板模块一方面用于捕获流向出光镜片的灰尘颗粒，另一方面未被扰流板模块捕获的灰尘颗粒在第一气路和第二气路气流的对冲作用下返回至放电腔腔体内，阻止灰尘颗粒
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116435852 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310681728.4
(22)申请日 2023.06.09
(71)申请人 北京精亦光电科技有限公司
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