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本发明提供一种耐候性强的多层增透膜及其制备工艺,包括基底及设置在基底上的多层膜,其特征在于,还包括设于基底上的高折射率和低折射率交替的膜层以及设于高/低折射率交替膜堆表面的疏水膜,所述高/低折射率交替膜堆远离基板方向表面为低折射率膜层。本发明通过磁控溅射方式沉积高/低折射率交替膜堆,提高了膜层结构的稳定性、提高了高折射率膜层与低折射率膜层的结合附着力;同时本发明通过选用纳米氧化硅辊涂形成疏水层,提高了光的透过率,适用的温度、湿度、气压等范围更广,能在多变的环境中保持性能稳定。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116430486 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310209278.9 C23C 14/06 (2006.01)
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