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本发明提供了一种电子传输层的制备方法、反应等离子体沉积设备和钙钛矿电池。该方法包括：采用反应等离子体沉积法在基底形成电子传输层，其中，反应等离子体沉积法的工艺气体包括氧气和惰性气体，氧气在工艺气体的体积占比为5％‑50％。采用该方法制备电子传输层时不会对基底造成损伤，制备的电子传输层具有较高的致密性和均匀性，且电子传输层可以高效地将钙钛矿吸收层产生的载流子抽取至外电路，从而提高了钙钛矿电池的转换效率，同时该方法可实现大面积制备电子传输层，进而推动产业化进行。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116437677 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310361781.6 C23C 14/08 (2006.01)
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