压电谐振器及其制作方法.pdfVIP

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2023-07-15 发布于四川
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压电谐振器及其制作方法.pdf

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本发明属于谐振器技术领域，本发明提供一种压电谐振器，其包括底电极；压电层，压电层设置于底电极的一侧；顶电极，顶电极设置于压电层远离底电极的一侧；声波反射结构，声波反射结构形成于底电极远离压电层的一侧；顶电极、压电层、底电极以及声波反射结构交叠共同形成谐振区；其特征在于，压电谐振器还包括：插入层，插入层形成于顶电极远离压电层的一侧和/或底电极远离压电层的一侧，插入层至少部分覆盖谐振区；以及，质量负载，质量负载形成于插入层远离压电层的一侧；质量负载至少部分位于谐振区内。与相关技术相比，本发明压电谐振

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116436436 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202310418741.0 (22)申请日 2023.04.17 (71)申请人瑞声科技（南京