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本发明公开了一种真空镀膜机及方法，将形成蒸发源材料的装置和真空腔分体设置，使得在镀膜时，避免更换靶材时影响真空腔的真空度，从而有效的提高了生产效率，其所设计的真空镀膜机，包括镀膜腔、控制系统及至少一个气源加热器，镀膜腔通过带有出口电磁阀和流量计的管道连接气源加热器的出口端；镀膜腔设置有真空腔，在真空腔内设置有蒸发镀膜头，蒸发镀膜头上设置有加热线圈C和传感器C，蒸发镀膜头接入气源加热器输出的携带有靶材蒸发材料的气源，真空腔的底部位于蒸发镀膜头下方区域为掩膜板设置区域；控制系统分别连接蒸发镀膜头、传
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116426883 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310337337.0
(22)申请日 2023.03.31
(71)申请人 成都金鸿泰医疗设
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