一种抛光载体.pdfVIP

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2023-07-15 发布于四川
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本申请涉及半导体抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光载体，包括：第一载体；第二载体，所述第二载体位于所述第一载体的正下方，所述第二载体滑移连接于所述第一载体上，所述第二载体与所述第一载体之间形成空间可变的吸收腔；以及导向机构，所述导向机构连接于所述导向机构连接于所述第一载体和所述第二载体之间，所述导向机构沿竖直方向布置，通过所述导向机构使得所述第二载体相对于所述第一载体沿竖直方向定向移动。解决了抛光过程中抛片易飞片的技术问题，达到减小抛光过程中抛片飞片的可能的技术效果。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219337341 U (45)授权公告日 2023.07.14 (21)申请号 202223336242.7 (22)申请日 2022.12.09 (73)专利权人浙江晶盛机电股份有限公司地址