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本发明提供了一种多栅结构场效应晶体管pH传感器及制造方法，包括：基板、第一栅极、第一介电层、漏极、沟道层、源极、第三栅极、第二介电层和第二栅极；第二栅极为储液槽中的溶液和参比电极构成的液接式栅极；其中，基板的顶面设置有第一栅极；第一栅极的顶面设置有第一介电层；第一介电层的顶面设置有漏极、沟道层、源极；漏极、沟道层和源极的顶面设置有第二介电层；第二介电层的顶面设置有第二栅极；第一介电层的顶面还设置有第三栅极；本发明在第二介电层的顶面设置有储液槽，通过增加一个与沟道层处于同一平面的栅极，突破了传统的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116429841 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310353803.4
(22)申请日 2023.03.31
(71)申请人 宁波水表（集团）股份有限公司
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