电容薄膜真空计传感器及其制作方法和电容薄膜真空计.pdfVIP

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2023-07-15 发布于四川
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本申请涉及生物组织工程技术领域，具体而言，涉及一种电容薄膜真空计传感器及其制作方法和电容薄膜真空计，该制作方法包括：制备壳体和膜片，壳体底部有第一凸环，膜片顶部有第二凸环，第一凸环的外径与第二凸环的内径相等；在壳体下表面镀第一金属膜，第一金属膜位于第一凸环的内侧，在膜片上表面镀第二金属膜，第二金属膜位于第二凸环的内侧；将壳体扣合在膜片上，使第一凸环与第二凸环配合，并旋压壳体使壳体固定在膜片上，得到电容薄膜真空计传感器，该方式可减少在电容薄膜真空计传感器制作过程中产生不必要的应力，从而保证电容薄膜

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116429317 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202310683461.2 C23C 14/08 (2006.01)