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本发明涉及芯片晶圆测试技术领域，具体为一种用于芯片晶圆测试台的固定机构，包括凹折主板，凹折主板上方固定有补光灯具，凹折主板外部环设有静环板，补光灯具和静环板传动连接，凹折主板下方连接有内控件，内控件底端连接有支撑立柱，支撑立柱外部固定环设有多个副撑板，副撑板顶端固定在静环板上，凹折主板两端设置有定位件，两个定位件之间夹持有晶圆，本发明相较于传统技术固定机构，可以实现晶圆倾斜时的拍摄检测，且晶圆可以倾斜时转动，这样满足多角度的拍摄需求，此外为了保证晶圆在任何倾斜情况下均能得到充分的补光，补光灯具伴
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116430087 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310687708.8
(22)申请日 2023.06.12
(71)申请人 南京银茂微电子制造有限公司
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