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本发明涉及人工智能技术领域，尤其涉及一种多任务学习的半导体晶圆检测方法、装置、设备及介质。将不同模态数据的细节特征与不同模态数据的融合特征的提取作为不同的任务，对表征光强特征的图像与表征偏振特征的图像进行特征提取，得到对应的特征图，将特征图进行图像增强，并对增强后的图像进行细节重建，得到光强特征图与偏振特征图中的细节纹理特征图，作为第一任务，进行迭代处理，直至迭代次数达到预设阈值，将细节纹理特征图再次进行图像增强，提取每次迭代后的增强图像的高语义特征，将提取的高语义特征进行融合，提取融合特征，作
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116433661 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310690456.4
(22)申请日 2023.06.12
(71)申请人 锋睿领创（珠海）
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