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残余气体分析装置.pdfVIP

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  • 2023-07-15 发布于四川
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残余气体分析装置.pdf

    本文公开了一种用于检测真空工具中的气体的残余气体分析装置，包括：一个或多个离子源，被配置成电离余气体分析装置中的气体；一个或多个检测器，被配置成检测由离子源电离的气体；以及一个或多个气体产生丝，被配置成在残余气体分析装置内产生气体。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116438451 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202180071034.8 R ·W ·F ·奥斯特博安　

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