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用于真空输送系统的模块化真空阀系统.pdfVIP

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  • 2023-07-15 发布于四川
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用于真空输送系统的模块化真空阀系统.pdf

    本发明涉及一种用于以基本上气密的方式闭合真空输送系统的第一阀开口(31)的真空阀系统(10)，真空阀系统具有：阀座组件(30)，其具有限定了开口轴线的第一阀开口(31)和围绕第一阀开口(31)的第一密封面；闭合部件(20)，其用于以基本上气密的方式闭合第一阀开口(31)，包括对应于第一密封面的第二密封面(21)；以及驱动单元(50)，其用于提供闭合部件(20)相对于阀座组件(30)的移动。阀座组件(30)可以与输送管组合，使得在阀座组件(30)与输送管之间提供气密过渡并且第一阀开口(31)对应于

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116438398 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202180071252.1 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限

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