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弹性波装置.pdfVIP

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  • 2023-07-15 发布于四川
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弹性波装置.pdf

    提供一种弹性波装置，能够抑制在电介质膜产生裂纹及压电体层粘贴于电介质膜。弹性波装置(10)具备支承基板(12)、电介质膜(13)、压电层(14)和IDT电极(15)(激励电极)。压电层(14)具有第1、第2主面(14a、14b)。第2主面(14b)位于电介质膜(13)侧。在电介质膜(13)设置有空洞部(11a)。空洞部(11a)在俯视下与IDT电极(15)的至少一部分重叠。电介质膜(13)具有面向空洞部(11a)的侧壁面(13a)。侧壁面(13a)具有倾斜为越远离压电层(14)则空洞部(11a)

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116438739 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202180071572.7 大村正志　山田一　 (22)申请日 2021.10.15

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