基板检测装置及基板处理系统.pdfVIP

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2023-07-15 发布于四川
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基板检测装置及基板处理系统.pdf

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公开基板检测装置及基板处理系统。根据一个实施例的基板处理系统可包括：处理液涂覆单元，其将处理液涂覆于基板；基板干燥单元，其用于对涂覆有处理液的基板进行干燥；基板移动单元，其从处理液涂覆单元中搬出基板，并将基板搬入基板干燥单元；第一检测部，其在从处理液涂覆单元中搬出基板的过程中，检测基板的处理液涂覆状态；以及第二检测部，其在将基板搬入基板干燥单元的过程中，检测基板的处理液涂覆状态。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214203618 U (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202023157027.1 (22)申请日 2020.12.24 (30)优先权数据 10-2019-0