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本发明涉及氟硅酸制备技术领域，尤其涉及一种氟硅酸溶液的浓缩方法及系统。所述氟硅酸溶液的浓缩方法包括以下步骤：将含氟废气与氟硅酸溶液在第一洗涤区中混合，进行一级洗涤；将所述一级洗涤后的洗涤液输送至第二浓缩区；将SiF4气体输送至第一浓缩区进行一级洗涤浓缩；将一级洗涤浓缩后的SiF4气体输送至第二浓缩区进行二级洗涤浓缩；所述第二浓缩区中的洗涤浓缩液回流至第一浓缩区；将所述第一浓缩区中的洗涤浓缩液进行过滤，得到浓氟硅酸溶液和含氟硅渣；所述二级洗涤浓缩后的废气输送至第一洗涤区中。本发明提供的氟硅酸溶液的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116425167 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310422737.1 B01D 53/68 (2006.01)
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