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本实用新型涉及控制面板安装技术领域,具体为一种控制面板及晶圆电阻率量测机包括:晶圆电阻率量测机主体侧面设置有定位板,控制面板侧设置有立板,立板侧面设置有支撑板,支撑板内设置有限位杆;有益效果为:本实用提出的一种控制面板及晶圆电阻率量测机,当需要将控制面板安装在晶圆电阻率量测机主体上时,首先按压限位杆使限位杆收缩进放置槽内,然后就可将支撑板插入在滑孔内,然后限位杆利用弹簧的弹力可将限位杆插入在限位孔内这样就可将控制面板固定在晶圆电阻率量测机主体上,这样避免了传统的控制面板的安装一般是通过螺钉等紧固
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219348904 U
(45)授权公告日 2023.07.14
(21)申请号 202320719018.1
(22)申请日 2023.04.04
(73)专利权人 山东强茂电子科
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