分段调压式气囊抛光头.pdfVIP

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  • 2023-07-17 发布于四川
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本实用新型公开了一种分段调压式气囊抛光头,包括背板、隔膜及由至少两个气囊组成的气囊组;该背板与隔膜四周连接在一起,两者之间形成有密封舱室,该隔膜为盆状,其底部为圆形平面;该气囊组的各气囊同心环形设置于所述密封舱室内,且该气囊组至少包括一个位于中间的主压力气囊及一个位于外环的侧面压力气囊,各气囊上设有一个气门,该气门穿过所述背板上的孔与一气管连接,该气管另一端与气泵连接。本实用新型的环形气囊组机构可对环形气囊组的气压进行实时控制,由此实现对抛光头各位置的气压实时可调,解决边缘效应问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214213414 U (45)授权公告日 2021.09.17 (21)申请号 202022813654.X (22)申请日 2020.11.29 (73)专利权人 厦门理工学院 地址

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