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- 2023-07-18 发布于四川
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本实用新型提供一种硅料微波干燥装置，包括机架和设置在机架上的运输通道、抑波闸门、微波干燥腔、干燥缓冲腔；所述干燥缓冲腔配合设置在微波干燥腔前后两端；所述抑波闸门配合设置在干燥缓冲腔前后两端；所述运输通道贯穿微波干燥腔和干燥缓冲腔设置；所述微波干燥腔顶面上设置有微波发射器。与现有技术相比，通过微波干燥腔、干燥缓冲腔和抑波闸门的配合设置，能够将硅料密封在两道抑波闸门和微波干燥腔、干燥缓冲腔构成的空间内，避免了微波的外泄，提高了作业环境安全。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214223563 U
(45)授权公告日 2021.09.17
(21)申请号 202120350855.2 F26B 25/00 (2006.01)
(22)申请日 2
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