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本申请总体来说涉及半导体器件加工技术领域,具体而言,公开了一种夹具及工装。该夹具包括基座、第一定位件、定托板和动托板,基座包括依次设置的第一段、第二段和第三段;第一定位件的两侧分别与第一段和第三段滑动配合,第一段、第二段、第三段和第一定位件合围成一自基座正面贯通至基座背面的镂空部,镂空部垂直于贯通方向的截面为矩形;定托板设置于基座的背面且与第二段连接,定托板的至少一部分结构位于镂空部内;动托板设置于基座的背面且与第一定位件连接,动托板的至少一部分结构位于镂空部内。本实用新型提供了一种结构简单、方
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214213551 U
(45)授权公告日 2021.09.17
(21)申请号 202023253511.4
(22)申请日 2020.12.29
(73)专利权人 芯思杰技术(深圳)股份有限公司
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