一种高精度紫外光刻套刻对版标记及套刻方法.pdfVIP

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2023-07-19 发布于四川
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一种高精度紫外光刻套刻对版标记及套刻方法.pdf

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本发明属于无线光通信技术领域，具体为一种紫外光刻套刻对版标记及套刻方法。本发明紫外光刻套刻对版标记包括三个部分：对版标记中间的空心方框和方框正中间的十字部分，用于粗对准；对版标记中对应于空心方框的四个顶点处的数字部分，用于标记需要进行套刻的子版序号；对版标记中位于上下左右对应于空心方框四边外侧的4个刻度尺，用于精对准；母版的4个刻度尺为主刻度，子版的4个刻度尺为子刻度。本发明在兼顾提升紫外光刻图形清晰度便于移动对准的同时，大大提升紫外光刻的套刻精度。该对版标记能同时兼顾明版和暗版的套刻要求。并且

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116449643 A (43)申请公布日 2023.07.18 (21)申请号 202310230696.6 (22)申请日 2023.03.11 (71)申请人复旦大学地址 200433