原创力文档- 10
- 0
- 约9.19千字
- 约 7页
- 2023-07-19 发布于四川
- 举报
本发明属于半导体元器件技术领域，具体涉及一种GaN基HEMT器件的外延结构，包括硅衬底以及依次从硅衬底表面生长的AlN层、AlGaN位错复合调控层、高阻GaN外延层、GaN沟道层、AlGaN势垒层以及GaN帽层；所述AlGaN位错复合调控层包括依次叠加的AlxGa1‑xN单晶层、AlyGa1‑yN单晶层、AlzGa1‑zN单晶层和AlvGa1‑vN单晶层。通过优化的AlGaN位错复合调控层包含具有Ga空位的外延功能层，通过在外延生长中引入大量Ga空位，使得位错发生弯曲而湮没，从而提高晶体质量，减
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116454130 A
(43)申请公布日 2023.07.18
(21)申请号 202310451119.X
(22)申请日 2023.04.25
(71)申请人 江苏芯港半导体有限公司
地址 2
您可能关注的文档
- 一种线路取能直流断路器及其应用方法.pdf
- 一种配体调节剪切活性的适体酶.pdf
- 面向设备直连移动边缘计算系统的卸载博弈方法.pdf
- 一种存内多比特加法器和存内运算方法.pdf
- 显示面板.pdf
- 一种高耐热高模量碳纤维板及其制作方法.pdf
- 一种D-塔格糖的精制方法.pdf
- 5G富媒体信息的视频摘要系统、方法、电子设备及介质.pdf
- 敏感数据的安全传输方法、客户端以及服务器.pdf
- 一种基于非接触IC/ID卡的患者身份识别系统和方法.pdf
- 中国国家标准 GB/T 48336.304-2026星闪无线通信系统 第304部分：基础服务层 5G蜂窝网络融合.pdf
- CCAA《管理体系认证基础》第2版+三色笔记office完整版-2026.docx
- RCS-901系列超高压线路成套保护装置技术和使用说明书.pdf
- RCS-902A(B.C.D)型超高压线路成套保护装置技术说明书.pdf
- PCS-923A断路器失灵起动及辅助保护测控装置技术使用说明书.pdf
- RCS-924A型T区保护装置技术和使用说明书.pdf
- GB/T 48349.3-2026信息技术 数字视网膜系统 第3部分：端子系统.pdf
- 中国国家标准 GB/T 48349.3-2026信息技术 数字视网膜系统 第3部分：端子系统.pdf
- 《GB/T 48349.3-2026信息技术 数字视网膜系统 第3部分：端子系统》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 48355-2026石化化工用软起动装置.pdf
最近下载
- 基于单片机与雨量 光照传感器的自适应雨刮与大灯控制系统设计与实现_雨刮灯光控制_2026年课程设计.docx VIP
- BS EN 50525-3-31-2011 国外国际规范.pdf VIP
- 水利工程安全生产保证措施方案.pdf VIP
- 百科：CDCC中国儿童发展量表.docx VIP
- 2026年中级导游证考试真题及答案.docx VIP
- GB 50300－2013建筑工程施工质量验收统一标准.pdf VIP
- BS EN 50525-3-11-2011 国外国际规范.pdf VIP
- 面向酸碱回收过程的扩散渗析技术研究进展.pdf VIP
- 2021-2022北京清华附中上地学校初二（上）期中语文.pdf VIP
- 铁路自然灾害及异物侵限监测系统工程技术规程.pdf VIP
文档评论（0）