光刻机三点自动找平机构.pdfVIP

下载本文档

11
0
约4.76千字
约 6页
2023-07-19 发布于四川
举报
版权申诉

光刻机三点自动找平机构.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型提供光刻机三点自动找平机构，包括上固定板和浮动板，所述浮动板固定上mask，所述上固定板与浮动板之间设有调平结构，所述调平结构设有多个，所述调平结构包括导向柱，所述导向柱的两端分别连接固定在上固定板和浮动板上，所述导向柱的一端固定在浮动板上，所述导向柱的一端通过精密导套固定连接在上固定板上，所述导向柱上套设有弹簧，所述弹簧设置在上固定板和浮动板之间，调平机构采用调心轴承、精密导柱、直线导套、弹簧、调整块，自动找平，保证上mask和晶圆各处的间隙一样，结构简单实用，成本低，更加稳定。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214278630 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202023019662.3 (22)申请日 2020.12.16 (73)专利权人无锡旭电科技有限公司