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本实用新型公开了一种电子级六氯二硅烷的生产系统，包括预处理系统和提纯系统，预处理系统对原料进行粗提，提纯系统将经预处理系统粗提后的粗料提纯为电子级六氯二硅烷。预处理系统包括第一蒸馏塔、第二蒸馏塔和第三蒸馏塔，提纯系统包括脱重组分塔、脱轻组分塔、脱铝塔和高纯塔。使用本实用新型生产系统生产电子级六氯二硅烷，能生产出纯度99.95％以上，以金属元素含量计算纯度达到99.999‑99.99999％的高纯产品。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214270231 U
(45)授权公告日 2021.09.24
(21)申请号 202023071361.5
(22)申请日 2020.12.18
(73)专利权人 武汉新硅科技潜江有限公司
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