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本申请涉及机械领域，具体而言，涉及一种磁控溅射镀膜机。一种磁控溅射镀膜机，磁控溅射镀膜机包括：依次布置的第一收放卷机构、第一张力辊、溅射区以及第二收放卷机构；薄膜能从所述第一收放卷机构经过所述第一张力辊、所述溅射区被所述第二收放卷机构收卷；且所述第一张力辊与所述薄膜的包角为120‑180°。在第一收放卷机构、溅射区之间设置第一张力辊、第一张力辊与薄膜之间的包角为120‑180°。第一张力辊可以有效消除薄膜上的张力，避免薄膜被过度拉伸，避免造成镀层出现缺陷。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214271026 U
(45)授权公告日 2021.09.24
(21)申请号 202023101748.0
(22)申请日 2020.12.21
(73)专利权人 厦门海辰智能科技有限公司
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